手术室净化湿度过产生的问题多。相对湿度过55时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50时易生锈。此外，湿度太时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清 除。相对湿度越,粘附的难去掉，但当相对湿度30时，又由于静电力的使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产较佳温度范围为35—45。